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介紹一種基于玻璃基底微流控芯片的制作方法,通過光刻工藝在玻璃基底表面刻蝕出微通道。利用氧等離子體對聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)和微通道所在的基底表面進(jìn)行處理,使PDMS與基底表面性質(zhì)由疏水性變?yōu)橛H水性,完成PDMS與玻璃基底的共價鍵結(jié)合。通過實驗表明,經(jīng)氧等離子體處理之后的PDMS與玻璃基底的密封效果較好。鑒于PDMS具有良好的熱穩(wěn)定性,無毒性,以及較好的光學(xué)特性等,此微流控芯片可用于生物醫(yī)學(xué)以及化學(xué)領(lǐng)域中的化學(xué)發(fā)光及熒光檢測。